ob体育网址厦门韫茂申请模拟ALD工艺过程的方法及系统专利大幅度降低设备调试成本提高工作效率

　　金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，厦门韫茂科技有限公司申请一项名为“模拟ALD工艺过程的方法及可模拟ALD工艺过程的系统”的专利，公开号CN 118917229 A，ob体育appob体育app申请日期为2024年4月。

　　专利摘要显示，本发明提供了一种模拟ALD工艺过程的方法及可模拟ALD工艺过程的系统，涉及半导体设备技术领域。通过在计算机商业软件Ansys‑workbench‑fluent上构建ALD工艺过程的模型，进行仿真计算，根据进行多次定量计算后得到理论上最优的工艺参数，用来指导实际操作调试。通过本方案，因此可以大幅度降低设备的调试成本提高工艺技术人员的工作效率。