江阴高新区企业首芯半导体：首台半导体薄膜沉积设备完成调试ob体育入口

　　近日，江阴高新区企业江苏首芯半导体科技有限公司的首台PECVD Amorphous Carbon半导体薄膜沉积设备完成调试，该设备可对应90/65纳米以下制程的Carbon薄膜工艺。

　　Carbon薄膜沉积设备项目于6月11日立项，9月初实现RF power on，10月9日完成设备马拉松测试及DOE数据整理分析。企业研发团队汇整了DOE相关数据，设备性能可以匹配国内外其他厂商的同类型设备的工艺规格，ob体育app该设备仅用时4个月完成Carbon薄膜设备的工艺开发和应用，达成了项目阶段性目标，可针对客户需求进行工艺优化及提供建议，加快客户的研发和量产进程。

　　江苏首芯半导体科技有限公司成立于2023年，主营业务为半导体先进制程设备的研发、生产、销售与技术服务。项目占地面积25亩，建筑面积2.5万平方米。目前项目主体厂房封顶，设备安装调试中，计划11月正式投产。项目完成后，可形成年产50台套半导体薄膜沉积设备的生产能力，预计实现年销售收入超6亿元，上缴税金超1500万元。

　　下一步，江阴高新区将始终坚持“项目为王”的理念，把“为重点项目提供全方位、全过程、全生命周期的优质服务”作为工作的出发点和落脚点，精准聚焦重大项目推进中的困难和问题，靠前服务、快速响应、迅速落实，全力推动重点项目早开工、快投产、速达效。

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